近日，在长三角国家技术创新中心积极推动下，上海精测半导体技术有限公司（以下简称“上海精测”）与国创中心专业研究所强强联合，共同成立合资公司专注纳米级高精度气浮平台（UPSS）的设计开发与生产制造，这也是国创中心专业研究所与联创中心企业合资成立的第一家高技术企业。

纳米级高精度运动台是半导体光刻设备、高精度测量和检测设备、激光加工设备等高端装备的核心子系统，负责硅片、试剂、样品等的承载和高精密定位，平台集合了精密机械、机电、传感器、运动控制和嵌入式软件等技术的跨学科复杂系统，在半导体领域有着广泛的应用。当前，作为半导体产业链关键环节，加快实现半导体高端检测设备的自主可控已成为业界共识，设备国产化的市场需求异常迫切。与国际巨头相比，国内相关企业在技术积累、产品规模、市场占有率、前瞻研究等方面均存在代际差距。

上海精测是国创中心的企业联创中心共建企业，是国内半导体制造前道制程量检设备的龙头企业，其电子束及离子束成像、光谱分析量测技术在国内占据绝对领先地位。公司自主研发的国内首台12寸独立式光学线宽测量设备（OCD）与国内唯一12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM）已顺利进入某芯片制造巨头供应链。

国创中心研究所联合上海精测于2021年启动了晶圆量测专用纳米级高精度气浮平台（UPSS）的自主研制，2022年6月，双方合作开发出高精度气浮平台首台样机，经过各类技术指标经测试验证，均已达到国际领先水平。在此基础上，经过多轮协商沟通，上海精测实控子公司携手国创中心体系内研究所成立合资公司，专注纳米级高精度气浮平台（UPSS）的设计开发、制造与量产。合资公司的成立，将进一步助力国家半导体高质量发展，解决卡脖子技术问题。

2022年，上海精测与国创中心启动共建NICE—上海精测联合创新中心。通过联创中心建设，双方合作开展企业技术路线图研究，凝练企业愿意出资解决的真需求，帮助企业高效链接、匹配国创中心全球创新资源，提炼高质量课题并联合一流高校实施高层次人才联合培养。