中国科学院院士、新金属材料国家重点实验室主任、北京科技大学前沿交叉科学技术研究院院长张跃，长三角国创中心管委会委员、首席专家罗本进，长三角国创中心管委会委员、上海长三角技术创新研究院院长助理肖功海，临港集团副总经济师、临港集团科技投资公司董事长翁巍，以及来自学术界、产业界、投资界、地方政府及园区的专家代表，共同探讨集成电路技术创新发展。
罗本进表示，长三角国创中心聚焦集成电路装备产业发展的国家战略需求，充分利用长三角地区的技术和产业优势，布局筹建集成电路装备研究所，打造创新联盟，营建开放创新的生态，助力解决制约国家发展全局和长远利益的集成电路产业链安全问题。希望各位专家积极建言献策，共同推动集成电路装备研究所及产业创新生态建设。
张跃院士表示，长三角国创中心支持建设集成电路装备领域研发平台，对集成电路领域从材料、工艺到系统集成等各方面具有重要意义。希望研究所能构建政产学研用深度结合的生态联盟，打破高校和企业之间的壁垒，助力学术成果跨越死亡之谷，有力支撑集成电路产业发展。
会上，无锡物联网创新中心有限公司总经理陈大鹏，前LAM日本总裁、HUGパワー株式会社首席运营官砂金养一，PowerWyse公司董事长韦韬，厦门云天半导体科技有限公司董事长于大全，中国科学院微系统所宋志棠研究员，中国科学院电工所韩立研究员，上海交通大学集成电路学院郭小军院长等专家，分别围绕集成电路重点领域的技术创新、产业实践、产教融合人才培养等主题进行了分享，提出了集成电路装备发展的新需求和新思路，为集成电路装备研究所的建设提供了指导经验。
集成电路装备研究所（筹）负责人、项目经理夏洋研究员介绍了集成电路装备研究所的建设方案，重点介绍了拟开展的产业化项目以及面向产教融合人才培养的集成电路实训平台项目。
与会专家对研究所的功能定位、项目实施方案以及项目团队的技术实力、产业化能力等进行了深入论证。专家表示，在长三角区域建设集成电路装备研究所具有紧迫性、必要性和重要性。研究所要聚焦集成电路装备发展需求，依托上海及长三角地区集成电路产业和技术优势，在体制机制创新和产业生态建设方面进行更多的探索；在集成电路装备研制、先进工艺开发、产业人才培养、创新联盟建设等方面发挥核心纽带作用，推动集成电路装备产业重点突破，实现高质量跨越式发展。
