
近日,长三角国创中心极限精测与系统控制研究所(江苏集萃苏科思科技有限公司,以下简称“苏科思科技”)顺利完成数亿元A轮融资。这标志着苏科思科技从初创研发企业迈入规模化发展新阶段,成长为本土控股、独立运营的半导体装备核心子系统龙头企业。
本轮融资由中芯聚源等多家知名机构联合领投,募集资金将重点用于核心技术持续攻关、产品迭代优化及产能规模化布局建设,进一步提升企业自主研发创新能力、核心产品市场竞争力与产业配套能力。
作为“十五五”规划重点打造的战略新兴支柱产业之首,集成电路的产业地位举足轻重。其中,高端半导体设备堪称集成电路产业的“皇冠”,而精密子系统则是“皇冠上的明珠”,直接决定设备性能水平。
2019年,江苏产研院引进荷兰SIOUX集团创始人团队,联合苏州高铁新城共同组建苏科思科技。公司专注于高端半导体装备核心精密模组与子系统的研发及制造,致力于打造国内领先的半导体核心部件供应商。依托“精密运动”“精密传感”“精密控制”三大核心技术平台,苏科思科技构建起全链路自主研发体系,成为国内少数实现自研高性能运动控制器配套量产的高端精密运动台企业,有效打破相关领域长期依赖海外供货的格局。

(苏科思科技所在园区外景)
目前,公司已成功开发20余种型号超精密运动台产品,与多家国内头部半导体设备企业达成深度合作,并实现百台级规模化量产。产品广泛应用于半导体前道光刻、前道量检测、3D IC等关键设备,精准契合行业高端需求,为我国半导体装备全产业链国产化奠定坚实的产业根基。

苏科思研发的纳米级高精度气浮平台
苏科思科技董事长兼总经理曾旭表示:“面对复杂外部环境,公司将持续深耕半导体高端精密装备核心领域,加快突破关键技术瓶颈,以自主创新能力助力国产半导体装备升级,为产业链自主可控贡献力量。”
本轮投资方中芯聚源表示,苏科思科技在精密运动控制领域具备突出的技术积累和产业化能力。未来,中芯聚源将发挥产业资源优势,支持苏科思科技持续扩大领先优势,共同推动半导体核心部件国产化进程。
拓展阅读
极限精测与系统控制研究所是长三角国家技术创新中心重点布局的新型研发机构,采用混合所有制、市场化运营机制。研究所聚焦高精密运动、系统控制、AI视觉检测等技术,主攻纳米级超精密运动台、高精度气浮平台等关键部件研发与产业化,致力于半导体高端装备自主可控。研究所现有200余名科研人员,拥有2500平方米防震洁净室,已服务80余家高科技企业,获评国家高新技术企业、江苏省专精特新中小企业等资质。
集萃苏科思CEO Hans Duisters 荣获2022年度中国政府友谊奖!
